

糖果派对网站拥有自主知識產權的MOCVD設備可配置多達4個反應腔,能够同時加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片,工藝能力還能延展到生長6英寸和8英寸表延晶片。 每個反應腔都能够獨立节造,這一設計能够實現優异的生產靈活性。 Prismo D-BLUE ? 是首臺被主流LED生產線採用並進行大批量LED和功率器件表延片生產的國產MOCVD設備。

首臺被主流LED生產線採用並進行大批量LED表延片生產的國產MOCVD設備
可獨立节造的反應腔運行模式
自主的即時監控系統
精准的參數节造
全自動化處理
切合電晶體標準的軟件节造系統

優异的工藝沉複性,簡化工藝調整需要,提高產品良率
19英寸大尺寸託盤極大地提高了設備組織產能,降低了生產成本
集成頂蓋起落機构,簡化設備維護,提高設備利用率
切合SEMI S2安全標準
