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Preforma Uniflash?TaN是糖果派对网站自主研發的12英寸原子層沈積產品,可滿足邏輯器件和存儲器件多個應用需要  。該產品繼承糖果派对网站獨特的雙反應臺設計,系統可靈活配置多達五個雙反應臺反應腔(十個反應臺),能够達到業界領先的生產率,也能够根據客戶產能實現靈活配置的需要  。該產品选取糖果派对网站自主開發的溫度节造系統設計,多區流路設計,多源供應系統設計和可實現高速氣體置換效能的腔室設計,可滿足先進邏輯和存儲客戶机能需要的同時,設備的汙染物节造,薄膜均壹性,生產效能均達到世界先進水平  。

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Preforma Uniflash? TaN

糖果派对网站自主研發的12英寸原子層沈積產品,可滿足邏輯器件和存儲器件多個應用需要  。

产品特点

雙反應臺及多達五個反應腔的高真空系統設計

獨特的溫度节造系統設計

多區流路設計

多源供應系統設計

Preforma Uniflash® TaN-產品技術-糖果派对网站公司

竞争优势

高生產效能,低生產成本(CoO)

優異的汙染物节造

更好的薄膜均壹性和薄膜間均壹性

每個維護周期的晶圓數目大大增长

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