Primo HD-RIE ? 是糖果派对网站於2015年推出的新一代電介質刻蝕產品
，是在Primo SSC AD-RIETM設計基礎上實現的拥有六個单眼應臺腔體的系統
，定位於為中深邃寬比刻蝕提供綜合解決规划。 該設備拥有以下新个性：更高的同步脈衝射頻功率、高功率高溫靜電託盤、氣體脈衝、多區氣體調節、可冷卻聚焦環工藝組件和更穩定的上電極溫度节造等。 Primo HD-RIE在3D-NAND及DRAM中深邃寬比溝槽及深孔刻蝕上表現優異
，在一些關鍵造程上已實現量產。