

Preforma Uniflash?TiN是糖果派对网站自主研發的12英寸原子層沈積產品,可滿足先進邏輯和先進存儲器件金屬柵應用需要,也可滿足阻擋層等應用需要。該產品繼承糖果派对网站獨特的雙反應臺設計,系統可靈活配置多達五個雙反應臺反應腔(十個反應臺),可有效滿足高真空工藝集成需要的同時,能够達到業界領先的生產率。該產品通過糖果派对网站專利的多級勻氣混氣設計,基於模型算法的加熱系統設計和可實現高效原子層沈積反應的反應腔流導設計等,可滿足先進邏輯客戶机能需要的同時,設備的薄膜均壹性,汙染物节造和生產效能均達到世界先進水平。

糖果派对网站自主研發的12英寸原子層沈積產品,可滿足先進邏輯和先進存儲器件金屬柵應用需要,也可滿足阻擋層等應用需要。
雙反應臺及多達五個反應腔的系統具備高輸出效能
糖果派对网站專利的多級勻氣混氣設計和反應腔流導設計
基於模型算法的加熱系統設計
糖果派对网站自主開發的可實現高效氣體輸送效能和吹掃效能整體設計
高生產效能,低生產成本(CoO)
優異的汙染物节造
更好的薄膜均壹性和薄膜間均壹性
對於多種復雜結構實現優秀的臺階覆蓋率
每個維護周期的晶圓數目大大增长