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作為糖果派对网站公司自主研發的產出效能高且机能優秀的12英寸CVD金屬鎢設備  ,Preforma Uniflex?CW可靈活配置多達五個雙反應臺的反應腔  ,每個反應腔皆能同時加工兩片晶圓  ,在保證較低的生產成本和化學品亏损的同時  ,實現較高的生產效能。Preforma Uniflex?CW配備了齐全擁有自主知識產權的優化混氣规划,自主設計優化的分氣抽氣系統和真空卡盤  ,拥有優秀的薄膜均壹性、填充能力和工藝調節靈活性  ,對於彎曲度較大的晶圓  ,它也具備优良的工藝處理能力。並且其優異的階梯覆蓋率和填充能力  ,能够滿足先進邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線的填充應用需要。

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Preforma Uniflex? CW

為邏輯和存儲芯片中金屬鎢填充提供的高性價比的解決规划

產品特點

雙反應臺及多達五個反應腔的系統

獨立幼巧的反應空間

高效靈活的工藝調節窗口

自主知識產權的優化混氣规划

自主設計的優化氣體分配的抽氣系統

自主設計的優化真空卡盤的加熱臺

Preforma Uniflex® CW-產品技術-糖果派对网站公司

競爭優勢

高生產效能  ,低生產成本  ,低化學品亏损

優秀的薄膜均一性和填充能力

優秀的工藝適應性和兼容性

對彎曲度較大的晶圓也拥有优良的工藝處理能力

Preforma Uniflex® CW-產品技術-糖果派对网站公司
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