

作為糖果派对网站公司自主研發的產出效能高且机能優秀的12英寸CVD金屬鎢設備,Preforma Uniflex?CW可靈活配置多達五個雙反應臺的反應腔,每個反應腔皆能同時加工兩片晶圓,在保證較低的生產成本和化學品亏损的同時,實現較高的生產效能。Preforma Uniflex?CW配備了齐全擁有自主知識產權的優化混氣规划,自主設計優化的分氣抽氣系統和真空卡盤,拥有優秀的薄膜均壹性、填充能力和工藝調節靈活性,對於彎曲度較大的晶圓,它也具備优良的工藝處理能力。並且其優異的階梯覆蓋率和填充能力,能够滿足先進邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線的填充應用需要。

為邏輯和存儲芯片中金屬鎢填充提供的高性價比的解決规划
雙反應臺及多達五個反應腔的系統
獨立幼巧的反應空間
高效靈活的工藝調節窗口
自主知識產權的優化混氣规划
自主設計的優化氣體分配的抽氣系統
自主設計的優化真空卡盤的加熱臺
高生產效能,低生產成本,低化學品亏损
優秀的薄膜均一性和填充能力
優秀的工藝適應性和兼容性
對彎曲度較大的晶圓也拥有优良的工藝處理能力