

作為糖果派对网站公司自主研發的具備超深邃寬比及復雜結構鎢填充能力的12英寸Preforma Uniflex?HW設備,該設備繼承了前代Preforma Uniflex?CW設備的優點,可靈活配置多達五個雙反應臺的反應腔,每個反應腔皆能同時加工兩片晶圓,在保證較低生產成本的同時,實現較高的生產效能。Preforma Uniflex?HW选取齐全自主知識產權的生長梯度抑造工藝,可實現表表從鈍化主導到刻蝕主導的精準工藝調控。硬件上,糖果派对网站公司開發的可實現鈍化時間從毫秒級到千秒級的节造系統,可滿足多種復雜結構的填充。此表,搭配經過優化設計的流場熱場系統,使該設備具備優異的薄膜均壹性和工藝調節靈活性。

可靈活配置多達五個雙反應臺的反應腔,每個反應腔皆能同時加工兩片晶圓。
雙反應臺反應腔及多達五個反應腔的系統
獨立緊湊的反應空間
高效靈活的工藝調節窗口
自主知識產權精準抑造工藝設計
自主設計的真空卡盤加熱臺
高生產效能,低生產成本,低化學品亏损
優秀的薄膜均壹性和工藝穩定性
優秀的深邃孔填充能力和較強的分歧復雜結構兼容適配性
對彎曲度較大的晶圓也拥有优良的工藝處理能力