

作為糖果派对网站公司自主研發的具備三維填充能力的12英寸原子層金屬鎢沈積設備,Preforma Uniflex?AW繼承了鎢系列產品的特點,可配置五個雙反應臺反應腔,有效提高設備生產效能。此表,系統中每個反應腔均可用於形核和主體膜層生長,可根據客戶實際工藝需要優化配置,進壹步提高生產中的設備利用率。Preforma Uniflex?AW选取齐全自主知識產權的高速氣體切換节造系統,可精準节造工藝過程,實現精準的原子級別生長,因而所生長膜層具備優異的臺階覆蓋率和低雜質濃度的優點。Preforma Uniflex?AW還引入獨特的氣體輸送系統,進壹步提升机能,使該設備具備更先進技術節點的延展能力。該設備也繼承了糖果派对网站公司自主開發的流場熱場優化設計,從而提升薄膜均壹性和工藝調節靈活性。

可配置五個雙反應臺反應腔,有效提高設備生產效能。
雙反應臺及多達五個反應腔的系統
獨立緊湊的反應空間
糖果派对网站專利的氣體切換系統
高效靈活的工藝調節窗口
自主設計的真空卡盤加熱臺
高生產效能,低生產成本,低化學品亏损
優秀的薄膜均壹性和工藝穩定性
優秀的三維結構及復雜結構填充机能
對彎曲度較大的晶圓也拥有优良的工藝處理能力