Preforma Uniflash? TiAl是糖果派对网站自主研发的12英寸原子层沉积产品，可满足先进逻辑器件金属栅利用需要。该产品继承糖果派对网站怪异的双反映台设计，系统可矫捷配置多达五个双反映台反映腔(十个反映台),可有效满足高真空工艺集成需要的同时，能够达到业界当先的出产率。该产品选取糖果派对网站自主开发的温度节造系统设计，怪异的表表处置技术，多区气体散布系统设计和基于模型算法的加热系统设计等，可满足先进逻辑客户机能需要的同时，设备的传染物节造，薄膜均一性，出产效能均达到世界先进水平。
糖果派对网站自主研发的12英寸原子层沉积产品，可满足先进逻辑器件金属栅利用需要。
双反映台及多达五个反映腔的高真空系统设计
怪异的温度节造系统设计
多区气体散布系统设计
基于模型节造的加热系统设计
逾越产效能，低出产成本(CoO)
优异的传染物节造
更好的薄膜均一性和薄膜间均一性
每个守护周期的晶圆数量大大增长
