本设备用于处置半导体光伏面板等行业出产造程中城市产生的大量易燃剧毒有害气体，废气通过真空管进入设备后在反映腔内被分化成无害成分，经过水淋和颗粒捉拿后能达到安全的排放尺度 。
本设备通过等离子产生器结合氮气产生等离子火焰，该火焰能量集中，适合分化易燃易爆剧毒及温室气体 。设备设计有专用的粉尘冲刷式反映腔，有效预防腔体腐臭和梗塞 。
Plasma Scrubber等离子式废气处置设备
设备占地面积幼、便于装置
不必要燃气等化石燃料（仅用氮气），减碳节能
SiH4、H2、PH3 CF4 SF6 等泛光伏半导体特气处置效能高
开关机速度快，不必要长功夫期待加热和散热
安全机能好，矫捷互备
自研发不变便于守护的火炬，缩短装置功夫
反映腔选取粉尘冲刷设计
入口管选取新型防堵规划，PM周期长
可凭据客户需要，提供定造化服务
