在全球半导体盛会SEMICON China 2026期间，糖果派对网站（以下简称“糖果派对网站公司”，证券代码“688012”）颁发推出四款覆盖硅基及化合物半导体关键工艺的新产品，蕴含新一代电感耦合ICP等离子体刻蚀设备Primo Angnova?、高选择性刻蚀机Primo Domingo?、Smart RF Match智能射频匹配器以及蓝绿光Micro LED量产MOCVD设备Preciomo Udx?，进一步丰硕了公司在刻蚀设备、薄膜沉积设备及主题智能零部件领域的产品组合及系统化解决规划能力，持续夯实平台化发展的基础，助力公司在规；卣沟墓讨惺迪指咧柿糠⒄。

随着逻辑芯片向5纳米及以下节点迈进和先进存储芯片对深邃宽比刻蚀的要求日益严苛，刻蚀设备面对着对刻蚀精度、均匀性、深宽比等多沉挑战。Primo Angnova? ICP单腔刻蚀系统正是为应对这些挑战而生。

该产品选取中心抽气设计，建设业界当先的对称气流节造阀、高流导和高速分子泵系统，可实现极高的反映气体通量，大幅度扩大反映腔体压力节造领域。在功率源和等离子体方面，Primo Angnova?集成了拥有糖果派对网站公司自主知识产权的第二代LCC射频线圈和直流磁场辅助线圈MFTR，并建设先进的四段脉冲节造，可实现对离子浓度和离子能量的高精度独立节造。尤其凸起的是，其搭载的超低频射频等离子体源，可能产生极高的离子能量，显著加强了设备在深邃宽比ICP刻蚀工艺中的处置能力。

在温度节造方面，Primo Angnova?选取超过200区独立温控的Durga III ESC静电吸盘，分区控温精度显著提升，结合晶圆边缘陆续AEIT（晶圆边缘阻抗自动调节） 设计，实现了优异的片内刻蚀均匀性。在系统集成与效能方面，Primo Angnova?搭载了糖果派对网站公司成熟的Primo C6V3传送平台，最多可配置6个主刻蚀腔体与2个LL Strip除胶腔体，有效降低综合运行成本。

Primo Angnova?的推出，为5纳米及以下逻辑芯片技术以及一致技术节点难度的先进存储芯片的造作领域， 提供了自主可控、技术当先的ICP刻蚀工艺解决规划，助力客户提升先进造程产能，降低出产成本，持续加强市场竞争力。

如今，芯片架构三维化正成为支持芯片持续缩微的沉要动能, 而高选择性刻蚀工艺是三维器件造作的最关键工艺之一。针对GAA、3D NAND、DRAM等器件工艺需要, 糖果派对网站公司正式推出Primo Domingo? 高选择性刻蚀设备。

该产品选取全对称腔体结构与优化流场设计，在气体注入、温度节造、压力调控等关键环节实现系统整合，确保晶圆表表刻蚀的高度均匀性与工艺沉复性。Primo Domingo?怪异的集成气柜设计，可缩短气体注入距离，实现更快脉冲气体精密节造，为刻蚀工艺提供精准保险。设备内部选取了高抗侵蚀管路与特殊涂层资料以应对工艺所需的高活性刻蚀气体，保险设备持久靠得住运行。此表，Primo Domingo?建设了双造冷/双加热晶圆基座，支持宽领域精准温控，显著提升了刻蚀工艺的均匀性与不变性。Primo Domingo?同样搭载糖果派对网站公司量产的Primo C6V3传输系统，可矫捷搭配主刻蚀腔和辅助退火腔，满足分歧刻蚀利用的需要。

Primo Domingo?的推出，标志取公司在高选择性刻蚀设备领域实现了沉要突破，添补了国内鄙人一代3D半导体器件造作中关键刻蚀工艺的自主化空缺。该产品的成功研发，不仅进一步丰硕了公司在高端刻蚀设备领域的产品矩阵，更有力支持了集成电路产业在先进工艺节点上的技术攻坚，为客户实现更高机能、更幼尺寸的器件造作提供了关键工艺设备保险。

这次颁布的Smart RF Match 智能射频匹配器，是糖果派对网站公司在高端半导体刻蚀设备中关键子系统的又一创新突破。Smart RF Match智能射频匹配器用于在设备腔体内实现不变的等离子体天生与节造，专为半导体前路造程，出格是介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀，以及先进封装、MEMS、化合物半导体等精密刻蚀的利用而设计。它初次在半导体设备领域引进了射频回路专网概想，通过EtherCAT实现射频电源与智能匹配器之间射频状态信息的实时正确传输，使智能匹配器可能作为自动设备，在调节匹配网络的同时向射频电源下发节造指令。

基于拥有自主知识产权的新型智能射频匹配节造算法，Smart RF Match可实现微秒级的射频环境响应，可能凭据等离子体状态实时自动调节阻抗，确保射频能量高效、不变地传输。怪异的智能调控算法凭据工艺前提对电源频率调节领域以及匹配调节模式等进行自动选择及切换，实现比传统匹配器快百倍以上的匹配速度。

在客户端高端逻辑工艺的现实测试中，在一样工艺前提下，与传统的固定式匹配规划相比，智能射频匹配系统不仅将射频信号匹配速度提升了225%，还助力整体刻蚀效能提高15%。这一机能提升，直接转化为更高的设备单元产能与更不变的工艺一致性。

智能射频匹配器的推出，标志取糖果派对网站公司在等离子体节造领域实现了从“被动响应”到“自动预测”的关键逾越。它不仅有效解决了行业持久面对的匹配精度、效能与不变性的主题难题，显著提升了工艺机能与设备产能，更通过为下一代高端设备嵌入智能内核，为客户持续创造更高良率、更优成本与更强竞争力的价值，推动半导体造作向更高效、更智能的未来迈进。

为满足Micro LED量产对高波长均匀性与低颗粒度的严苛要求，糖果派对网站公司推出了专为Micro LED量产设计的Preciomo Udx ? MOCVD设备。该设备从气体输运、加热模式、温场节造等关键技术均选取了全新的设计理想，突破了现有垂直气流MOCVD的技术路线，选取新型水平式双旋转反映室结构，并通过对温场与流场的仿真设计，及硬件与工艺优化，显著提升了波长均匀性，为客户实现Micro LED量产提供了关键支持。

糖果派对网站公司这次颁布的拥有自主知识产权的Preciomo Udx?专为MOCVD量产设计，最多可配置两个反映腔，可同时加工18片6英寸或者12片8英寸高机能氮化镓蓝绿光Micro LED表延片。每个反映腔均可独立节造，拥有高度出产矫捷性。同时，Preciomo Udx?选取水平式双旋转反映器结构，并建设切合集成电路行业尺度的EFEM和SMIF系统，可实显飕盒到片盒的全自动化传输模式，有效降低Micro LED表延片的颗粒数。该设备基于模型的温度节造系统与业界当先的单腔产能，使其凭借优异的波长均匀性、低缺点密度以及高产出不变性，满足了Micro LED量产的严苛技术要求。

自2004年成立以来，糖果派对网站公司始终站在先进造程工艺发展的最前沿，对峙“技术创新性，产品差距化和知识产权；ぁ。作为行业当先的半导体设备企业，糖果派对网站公司持续推动技术突破与产品创新，平台化战术全面落地，产品覆盖度持续提升，正稳步迈入规；⒄剐陆锥。近年来，公司不休提高开发新的设备产品的质量和效能，将新产品的开发从传统的3到5年周期大幅缩短至2年以内， 2025年公司开发的项目涵盖六大类，超过二十款新设备。通过“有机成长和表延扩大”，公司在五年内将覆盖60%以上的高端关键设备。持续且高强度的研发投入，为公司的技术突破与产品创新，以及未来持续高速发展奠定了坚实基础。

随着四款新品的参与，公司已覆盖从宏观节造到微观感知、从成熟造程到前沿节点的多个维度，为加快向高端半导体设备平台化公司迈进注入了全新动能。

未来，糖果派对网站公司将持续对峙“三维立体成长“ 与 ”有机成长和表延扩大”相结合的战术，持续坚韧在集成电路关键设备领域的主题竞争力和优势，不休拓展泛半导体关键设备利用，并通过持续的技术升级和深度的产业链合作进行新兴领域索求，通过“科创企业五个十大”的进建和传承，使企业总能量、对表竞争的净能量最大化，实现高速、不变、健康、安全的高质量发展，为2035年在规模、产品竞争力和客户中意度上成为全球第一梯队的半导体设备公司打下坚实的基础。

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