





糖果派对网站拥有自主知识产权的MOCVD设备可配置多达4个反映腔,能够同时加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片,工艺能力还能延展到成长6英寸和8英寸表延晶片。每个反映腔都能够独立节造,这一设计能够实现优异的出产矫捷性。PRISMO D-BLUE?是首台被主流LED出产线选取并进行大批量LED和功率器件表延片出产的国产MOCVD设备。

首台被主流LED出产线选取并进行大批量LED表延片出产的国产MOCVD设备
可独立节造的反映腔运行模式
自主的实时监控系统
精准的参数节造
全自动化处置
切合半导体尺度的软件节造系统
优异的工艺沉复性,简化工艺调整需要,提高产品良率
19英寸大尺寸托盘极大地提高了设备单元产能,降低了出产成本
集成顶盖起落机构,简化设备守护,提高设备利用率
切合SEMI S2安全尺度,提升设备的安全机能


