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糖果派对网站公司喜迎Primo Menova™12寸金属刻蚀设备全球首台机顺利付运


近日,糖果派对网站(以下简称“糖果派对网站公司”,股票代码:688012)颁发其刻蚀设备系列喜迎又一里程碑:Primo Menova?12寸金属刻蚀设备全球首台机顺利付运国内一家沉要集成电路研发设计及造作服务商 。此项里程碑既标志取糖果派对网站公司在等离子体刻蚀领域的又一自主创新,也彰显了公司持续研发的技术能力与稳步发展的综合实力 。


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糖果派对网站公司的12英寸ICP单腔刻蚀设备 Primo Menova?专一于金属刻蚀,尤其善于于金属Al线、Al块的刻蚀,可宽泛利用于功率半导体、存储器件和先进逻辑芯片的造作,是晶圆厂金属化工艺重要设备之一 。Primo Menova?基于糖果派对网站量产的ICP刻蚀产品Primo Nanova?研发造作,秉承了优异的刻蚀均一性节造,可达到高速度、高选择比及低底层介质危险等刻蚀机能 。Primo Menova?搭配高效能腔体清洁工艺,可削减腔室传染,耽搁腔体持续运行功夫 。Primo Menova?系统还集成了建设高温水蒸气的除胶腔室(strip chamber),高效去除金属刻蚀后晶圆表表残留光刻胶及副产品 。Primo Menova?和除胶腔体可凭据客户工艺需要矫捷搭配,最大水平满足客户逾越产效能的要求,确 ;ㄔ诟吒汉沙霾械牟槐湫杂肓悸 。

糖果派对网站公司始终站在先进造程工艺发展的最前沿,与国际当先的半导体客户公司同步前行,公司的等离子体刻蚀设备已利用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工造作出产线及先进存储、先进封装出产线 。公司的CCP电容性高能等离子体刻蚀机和ICP电感性低能等离子体刻蚀机可覆盖国内95%以上的刻蚀利用需要,在机能优良、不变性高档方面满足了客户先进造程中各类严苛要求 。截至2024年年底,公司累计已有超过6000台等离子体刻蚀和化学薄膜设备的反映台,在国内表137条出产线实现量产和大规模沉复性销售 。


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凭据市场及客户需要,糖果派对网站公司显著加大研发力度,目前在研项目涵盖六大类、超过二十款新设备的开发 。公司研发新产品的速度显著加快,从前通常必要三到五年开发一款新设备,此刻只需两年或更短功夫就能开发出有竞争力的新设备,并顺利进入市场 。2024年公司研发总投入达到24.5亿元,比2023年增长了94.3%,占交易收入比例约为27%,远高于科创板上市公司均匀研发投入占收入比例的10%到15% 。

糖果派对网站公司资深副总裁丛海暗示:“糖果派对网站公司开发的一系列刻蚀设备在机能、不变性等方面满足了客户的高尺度要求,并可覆盖国内大无数的刻蚀利用需要 。糖果派对网站公司持续践杏桩五个十大’的企业文化,将产品开发的十大准则始终贯通于产品开发、设计和造作的全过程,秉持为达到设备高机能和客户严格要求而开发的理想,对峙技术创新、设备差距化和知识产权 ; 。随着新利用的进一步拓展,我们将持续推动与客户的亲昵合作互换,通过技术领域的持续创新,不休为客户提供极具竞争力的产品和解决规划,实现稳步发展与深度共赢 。”


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