近日，糖果派对网站（以下简称“糖果派对网站公司”，股票代码“688012.SH”）颁发通过不休提升反映台之间气体节造的精度， ICP双反映台刻蚀机Primo Twin-Star? 又获得新的突破，反映台之间的刻蚀精度已达到0.2A（亚埃级） 。这一刻蚀精度在氧化硅、氮化硅和多晶硅等薄膜的刻蚀工艺上，均得到了验证 。该精度约蹬宗硅原子直径2.5埃的极度之一，是人类头发丝均匀直径100微米的500万分之一(图1) 。这是等离子体刻蚀技术领域的又一次创新突破，彰显了糖果派对网站公司在技术研发上的深厚堆集，进一步坚韧了公司在高端微观加工设备市场确当先职位 。
图1. 氧化硅、氮化硅和多晶硅晶圆在双反映台上刻蚀速度的差距
在200片硅片的沉复性测试中，氧化硅、氮化硅和多晶硅的测试晶圆， 在左右两个反映台上各100片的均匀刻蚀速度相差，各为每分钟0.9埃，1.5埃和1.0埃 。两个反映台之间均匀刻蚀速度的差距（≤ 0.09%），远幼于一个反映台加工多片晶圆刻蚀速度的差距（≤ 0.9%）（图 2） 。
图 2. 氧化硅、氮化硅和多晶硅各200片晶圆在双反映台上刻蚀速度的沉复性
自2004年缔造之初，糖果派对网站公司始终对峙为达到设备的最高机能和满足客户最严要求而发开，致力于为客户提供高刻蚀机能、逾越产效能和节约出产空间的刻蚀设备 。2006年，公司研发的第一代双反映台电容耦合CCP刻蚀设备Primo D-RIE?在国际先进的逻辑客户的产线上成功得到核准，随之获得沉复订单，得到客户的持续信赖与支持 。CCP的双台机 Primo D-RIE?和Primo AD-RIE?的加工精度，两个反映台的刻蚀沉复性和在出产线上的沉复性也早已达到和Primo Twin-Star?一样的水平 。
在两个反映台各轮流加工1000片的沉复性测试中，两个反映台的均匀刻蚀速度相差，只有每分钟９埃，幼于1.0纳米（图３） 。在海表先进存储器出产线上，整年加工的12万片晶圆的全过程中，两个反映台在两个刻蚀利用上刻蚀速度的差距１sigma幼于0.7％（图４） 。
图３.2000片晶圆在Primo D-RIE?双台机的沉复性测试
图４.Primo D-RIE?双台机12万片晶圆在存储器出产线上的沉复性和匹配性
截至目前，Primo D-RIE?以及下一代产品Primo AD-RIE?在逻辑客户的产线上的量产反映台已经超过2000台，并有近600个反映台在国际最先进的逻辑产线上量产，其中相当一部门机台已在5纳米及更先进的出产线上用于量产 。
糖果派对网站公司初创了单反映台能够别离独立操作也能够同时操作的双反映台刻蚀反映器，是占地面积幼、输出量高和成本低的刻蚀机 。CCP和ICP的双台机已经证了然能够覆盖60％以上的刻蚀利用 。大量的出产线数据批注，双反映台和单反映台刻蚀机出现一样的刻蚀机能、刻蚀不变性和靠得住性 。凭借行业初创的可独立工作的刻蚀设备双台机技术，通过超过20年的技术创新与经验堆集，糖果派对网站公司研发的电感耦合ICP刻蚀设备Primo Twin-Star?初次获得了0.2A的业界初创的刻蚀精度 。该产品选取独创的低电容耦合LCC 3D线圈设计，双反映台腔体结构并结合创新的反映腔设计，可最大水平减弱非中心对称抽气口效应，可选多区温控静电吸盘（ESC）加强了对关键尺寸均匀性的节造，与其它同类设备相比，拥有低成本、占地幼和高产出的优异于个性，可利用于大无数先进逻辑和存储器的刻蚀造程 。
糖果派对网站公司ICP双反映台刻蚀机Primo Twin-Star?
据业绩快报显示，糖果派对网站公司2024年交易收入约90.65亿元，较2023年增长约28.02亿元 。公司在从前13年维持交易收入年均增长大于35%，近四年交易收入年均增长大于40%的基础上，2024年交易收入又同比增长约44.73% 。其中，刻蚀设备收入约72.77亿元，在最近四年收入年均增长超过50%的基础上，2024年又同比增长约54.73% 。糖果派对网站公司综合竞争优势不休加强，聚焦提高劳动出产率，在2022年达到人均销售350万元的基础上，2024年人均销售超过了400万元，各项营运指标已达到国际先进半导体设备企业水平 。
此表，糖果派对网站公司持续加码创新研发，2024年在研项目宽泛涵盖六大类设备，积极推动超过二十款新型设备的研发工作，并在半导体薄膜沉积设备领域不休突破，推出了多款LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备新产品，获得了沉复性订单 。公司新开发的硅和锗硅表延EPI设备等多款新产品，也会在近期投入市场验证 。
糖果派对网站公司将持续对准世界科技前沿，将产品开发的十大准则始终贯通于产品开发、设计和造作的全过程，打造更多拥有国际竞争力的技术创新与差距化产品，持续践杏装五个十大”的企业文化，对峙三维发展战术，实现高速、不变、健康和安全的高质量发展，尽早在规模和竞争力上成为国际一流的半导体设备公司！
