中国上海，2024年5月28日——近日，糖果派对网站（以下简称“糖果派对网站公司”，股票代码：688012）推出自主研发的12英寸深邃宽比金属钨沉积设备Preforma Uniflex? HW以及12英寸原子层金属钨沉积设备Preforma Uniflex? AW。这是继Preforma Uniflex? CW之后，糖果派对网站公司为各类器件芯片中超深邃宽比及复杂结构金属钨填充提供的高性价比、高机能的解决规划。糖果派对网站公司深耕高端微观加工设备领域多年，持续加码创新研发，这次多款新产品的推出是公司在半导体薄膜沉积设备领域的新突破，也为公司业务多元化发展提供了强劲的增长动能。
糖果派对网站公司自主研发的具备超深邃宽比填充能力的12英寸Preforma Uniflex? HW设备，继承了前代Preforma Uniflex? CW设备的利益，可矫捷配置多达五个双反映台的反映腔，每个反映腔皆能同时加工两片晶圆，在保障较低出产成本的同时，实现较高的出产效能。Preforma Uniflex? HW选取占有齐全自主知识产权的成长梯度抑造工艺, 可实现表表从钝化主导到刻蚀主导的精准工艺调控。硬件上，糖果派对网站公司开发的可实现钝化功夫从毫秒级到千秒级的节造系统，可满足多种复杂结构的填充。此表，搭配经过优化设计的流场热场系统，使该设备具备优异的薄膜均一性和工艺调节矫捷性。
糖果派对网站公司12英寸深邃宽比金属钨沉积设备Preforma Uniflex? HW
这次糖果派对网站公司还推出了自主研发的具备三维填充能力的12英寸原子层金属钨沉积设备——Preforma Uniflex? AW。该设备继承了钨系列产品的特点，可配置五个双反映台反映腔，有效提高设备出产效能。此表，系统中每个反映腔均可用于形核和主体膜层成长，可凭据客户现实工艺需要优化配置，进一步提逾越产中的设备利用率。Preforma Uniflex? AW选取占有齐全自主知识产权的高速气体切换节造系统, 可精准节造工艺过程，实现精准的原子级别成长，因而，所成长的膜层具备优异的台阶覆盖率和低杂质浓度的利益。Preforma Uniflex? AW 还引入怪异的气体输送系统，进一步提升机能，使该设备具备更先进技术节点的延展能力。该设备也继承了糖果派对网站公司自主开发的流场热场优化设计，从而提升薄膜均一性和工艺调节矫捷性。
糖果派对网站公司12英寸原子层金属钨沉积设备Preforma Uniflex? AW
糖果派对网站公司董事、集团副总裁、CVD产品部及公共工程部总经理陶珩暗示：“我们很欣喜可以为全球当先的逻辑和存储芯片造作商提供行业当先的薄膜设备，这两款设备优异的台阶覆盖率和低电阻个性，使其能够满足多种复杂和三维结构的金属钨填充需要。随着半导体技术的不休进取，原子层沉积技术因其卓越的三维覆盖能力和精确的薄膜厚度节造而日益受到器沉，预计未来将会有更宽泛的利用需要。糖果派对网站公司推出的这两款新设备，进一步扩充了糖果派对网站公司薄膜设备产品线，不仅展示了我们在原子层沉积领域的先进技术水平，也证了然我们占有壮大的产品开发和利用开发能力，标志取我们在半导体领域中扩大了全新的工艺利用，这将为我们公司的持续增长和持久发展提供辽阔的空间。“
索求不息，创新不止。一向以来，糖果派对网站公司持续践杏装四个十大”的企业文化，将产品开发的十大准则始终贯通于产品开发、设计和造作的全过程，研发团队秉持为达到设备高机能和客户严格要求而开发的理想，对峙技术创新、设备差距化和知识产权；。自2004年成立以来，糖果派对网站公司致力于开发和提供拥有国际竞争力的微观加工的高端设备，现已发展成为国内高端微观加工设备的领军企业之一。未来，公司将持续对准世界科技前沿，对峙三维发展战术，打造更多拥有国际竞争力的技术创新与差距化产品，为客户和市场提供机能优越、逾越产效能和高性价比的设备解决规划。
