




近日,糖果派对网站(以下简称“糖果派对网站公司”,上交所股票代码:688012)推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex? CW。这是糖果派对网站公司深耕高端微观加工设备多年、在半导体薄膜沉积领域获得的新突破,也是实现公司业务多元化增长的新动能。

糖果派对网站公司12英寸低压化学气相沉积产品Preforma Uniflex? CW
作为糖果派对网站公司自主研发的产出效能高且机能卓越的12英寸LPCVD设备,Preforma Uniflex? CW可矫捷配置多达五个双反映台反映腔(十个反映台),每个反映腔能够同时加工两片晶圆,在保障较低的出产成本和化学品亏损的同时,实现更高的出产效能。
Preforma Uniflex? CW, 作为糖果派对网站公司自主研发的LPCVD设备,建设了齐全占有自主知识产权的优化混气规划及加热台, 拥有优良的薄膜均一性、填充能力和工艺调节矫捷性,对于弯曲度较大的晶圆,它也具备优良的工艺处置能力。并且其优异的阶梯覆盖率和填充能力,能够满足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充利用需要。
索求不息,创新不止。糖果派对网站公司推出的Preforma Uniflex? CW是公司创新之路的又一里程碑。一向以来,糖果派对网站公司践行“四个十大”的企业文化,将产品开发的十大准则始终贯通于产品开发、设计和造作的全过程,研发团队秉持为达到设备高机能和客户严格要求而开发的理想,对峙技术创新、设备差距化和知识产权;。“这款LPCVD设备不仅占有齐全、自主的知识产权,还创造了糖果派对网站公司新设备研发速度的新纪录。”糖果派对网站公司集团副总裁、LPCVD 产品部和公共平台工程部总经理陶珩说:”自该款LPCVD设备研发立项以来,仅用不到半年功夫,我们就实现了产品设计、出产样机开发和尝试室评价,目前已顺利导入客户端进行出产线核准。”
如今,数码产业已成为国民经济的两大支柱之一,在彻底扭转人类的出产和生涯方式。糖果派对网站公司董事长兼总经理尹志尧博士暗示,“数码强,则国强;数码弱,则国弱。半导体微观加工设备正是数码产业的基石,是发展集成电路和数码产业的关键。工欲善其事,必先利其器,加工微米及纳米级微观器件的设备对发展集成电路与微器件工业、推进数码产业发展至关沉要。这次我们推出LPCVD新产品,在等离子体刻蚀设备和MOCVD设备的基础上,进一步拓展了公司的产品线布局,也加强了半导体设备的自主可控性。未来公司也将持续对准世界科技前沿,对峙三维发展战术,推出更多自主设计的半导体设备,为推进数码产业发展贡献力量。”
自2004年成立以来,糖果派对网站公司致力于开发和提供拥有国际竞争力的微观加工的高端设备,现已发展成为国内高端微观加工设备的领军企业之一。未来,公司将持续打造更多拥有国际竞争力的技术创新与差距化产品,为客户和市场提供机能优越、出产效能高和性价比高的设备解决规划。

