糖果派对网站半导体设备（上海）有限公司（以下简称“糖果派对网站”）于本周 SEMICON West 期间颁布面向22纳米及以下芯片出产的第二代300毫米甚高频去耦合反映离子刻蚀设备 -- Primo AD-RIE? ；谝驯灰到缱⒍ǖ Primo D-RIE? 刻蚀设备 ，糖果派对网站 Primo AD-RIE 利用了更多技术创新性来解决高端芯片复杂出产过程带来的挑战 ，同时保障了芯片加工的质量。这些技术创新蕴含：先进的射频系统保障了刻蚀过程的不变性和可沉复性 ，更好的调谐能力确保了超精密的关键尺寸均匀度 ，更优异的反映室内壁资料以降低缺失来提高产品良率。
同前一代产品类似 ，同业业尺度相比 ，Primo AD-RIE 实现了35%到50%的本钱效能增益 ，总体占有成本降低20%至40% ，越发紧凑的产品设计 -- 占地面积比同类较大设备幼至少30% ，这些都使得 Primo AD-RIE 成为当前半导体设备市场上较高产出率、较低出产成本的先进刻蚀设备。
产品将于今年第三季度付运。第一台 Primo AD-RIE 将进入亚洲一流芯片代工厂。糖果派对网站 Primo D-RIE 设备将持续用于22纳米以上的芯片刻蚀加工和部门22纳米以下刻蚀工艺的加工。
对于芯片厂 ，糖果派对网站新设备投放市场的机遇同样是他们面对挑战的时刻。各晶圆厂持续扩大规模和新资料的整合带来了技术上的阻碍 ，而不休攀升的本钱支出成本影响着利润。对于刻蚀设备厂商来说 ，这就意味着要加快出产加工设备的创新措施 ，使之更先进、更不变、更靠得住 ，但同时又该当单一化并降低成本。这是糖果派对网站的较佳安身点 ，也是糖果派对网站至今已有超过30台设备进入亚洲9家客户（其中蕴含了世界顶级的晶圆出产厂商）的造胜点。为了进一步满足市场需要 ，糖果派对网站在中国扩大出产能力。今年 ，糖果派对网站将在台湾竹南地域实现成立新的组装和测试厂房设施。
“客户都想要最新、先进的加工技术 ，然而他们对出产成本的思考却比以往都更敏感 ，”糖果派对网站公司副总裁、刻蚀产品部总经理朱新萍说 ，“Primo AD-RIE 为先进的关键工艺加工带来了技术创新和出产力提高的最优化 ，客户能够选取更进取的工艺战术 ，而不用不安会以出产效能为价值。新老客户都对糖果派对网站产品暗示了极大的兴致。”
Primo AD-RIE 基于 Primo D-RIE ，拥有更多突破性技术创新
Primo AD-RIE 在推进糖果派对网站第一代刻蚀设备技术创新的同时 ，又大大扩大了其自身的加工领域。该设备的重要部门是一组创新的少量反映台反映器的簇架构 ，能够矫捷地装置多达三个双反映台反映器 ，以达到较佳芯片加工输出量。每个反映器都能够实现单芯片或双芯片加工。怪异的反映器腔体设计融合了糖果派对网站专有的等离子体聚焦和喷淋头技术 ，确保了芯片加工的质量。Primo AD-RIE 的一些根基特点使其更具备28纳米以下关键刻蚀加工的能力 ，这些根基特点蕴含：除了已有的60兆赫兹射频以表 ，2-13.5兆赫兹可切换射频使 Primo AD-RIE 加工领域越发宽泛 ，怪异的射频输入和对称散布改善了等离子密度的均匀散布 ，三区气体散布和双调谐气体提高了刻蚀的均匀度和调谐性 ，静电吸盘双区冷却装置提高了晶片温度的可调性并极大改善了晶圆片的刻蚀均匀度。
系统特点和优势：
·去耦合反映离子刻蚀实现了离子浓度和离子能量的独立节造 ；
·怪异的甚高频射频输入和对称散布可在大批量出产环境中仍能确保实现沉复性了局的精准节造 ；
·拥有自主知识产权的等离子体聚焦使刻蚀过程更为不变靠得住 ，有更宽泛的工艺窗口 ；
·每个反映台独立的射频产生器、各反映台均匀度的别离节造和刻蚀终点节造 ，使每片晶圆能够在独立的反映环境中被刻蚀处置 ；
·从底部供能的高频射频提供了不变、低压、高密度度的等离子体 ，维持 low-k 资料的齐全性 ；
·拥有自主知识产权的、拥有急剧、不变、靠得住的调谐能力的自隔离射频匹配装置 ；
·反映腔内壁选用高纯度、耐等离子特殊资料 ，开发了较佳的资料加工过程 ，大大降低了损耗 ，将杂质微粒数降到较低 ；
·电阻上电极直接加热处置的关环节造为持续的芯片加工过程提供了精确、急剧的温度节造 ；
·双反映台反映器的簇架构 ，可配置多达六个单芯片加工反映台 ，即在较幼的占地面积上获得很高的输出量 ；
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关于糖果派对网站半导体设备（上海）有限公司
糖果派对网站公司是以亚洲为基地的半导体设备公司。公司致力于为全球芯片出产厂商和有关高科技领域的世界当先公司提供一系列高端的芯片出产设备 ？突д鞘褂昧颂枪啥酝鞠冉目淌瓷璞负图际 ，造作了电子产品中最为关键的芯片器件。糖果派对网站的高端设备在65、45、32、28、22纳米及以下的芯片出产领域实现了技术创新和出产力提高的最优化。糖果派对网站公司总部位于上海 ，其研发、造作、销售和客户服务机构遍布日本、南韩、中国台湾、新加坡等地。
更多信息请接见公司网站：www.amec-inc.com
Primo D-RIE 和 Primo AD-RIE 均为糖果派对网站公司注册商标。
