




糖果派对网站半导体设备有限公司(简称“糖果派对网站”)颁发 Primo SSC AD-RIE?(糖果派对网站单反映台等离子体刻蚀设备)已交付韩国当先的存储器造作商。Primo SSC AD-RIE?是糖果派对网站公司目前先进的介质刻蚀设备,可用于1X纳米关键刻蚀工艺芯片加工。在此之前,糖果派对网站的 Primo SSC AD-RIE?已在南韩的16纳米最关键的刻蚀步骤上实现大批量出产。这台交付的设备将在客户最先进工艺的 3D VNAND试出产线上投入运行。
移动电子产品的飞速发展、以及大数据、社交传媒的宽泛利用,使得人们对存储器的存储容量和读取速度提出了更高的要求。当前一代的 2D NAND 工艺很快将无法满足不休升级的需要。3D VNAND 代表了下一代前沿工艺,糖果派对网站的客户正是技术进取的领跑者。像存储故障、光刻图案技术的局限性等问题使在 2D NAND 工艺层面很难持续向下一代工艺节点过渡,3D VNAND 则能解决这一难题。3D VNAND 带来的益处还蕴含提高存储容量和读取速度,提升功率效力和靠得住性,并降低出产成本。
“意识到 3D VNAND 闪存技术是存储工艺的未来,我们在研发上投入了大量的人力和物力,与客户缜密合作,开发用于这种高端造程工艺所必须的刻蚀技术。”糖果派对网站副总裁兼存储及逻辑产品关键客户大区总经理KI Yoon说路,“可能在这家当先客户的 3D VNAND 试出产线上占有一席之地是对我们持久致力的注定。另表,在这个只有少数一线刻蚀设备供给商高度竞争的领域,我们相信,糖果派对网站工艺质量和面对严格技术挑战的急剧反映能力使我们赢得了订单。我们很欣喜也很高慢,可能为这一沉要客户开发这项工艺。”
Primo SSC AD-RIE 是选取高抽速,低压,高能脉冲等离子体的伎俩为深邃宽比刻蚀而开发的产品。这是糖果派对网站 Primo 刻蚀产品家族中的最新一代产品。像糖果派对网站其他所有刻蚀设备一样,Primo SSC AD-RIE 具备先进的技术水平、超高的出产效能和较低的出产成本。
糖果派对网站高管将参与下周(7月14日至16日)在美国旧金山进行的美国半导体设备和资料展览会 SEMICON West。一年一度的 SEMICON West 展会是全球半导体设备行业精英的沉要盛会。
如需相识更多关于 SSC AD-RIE 和糖果派对网站其他设备的信息,请接见:http://www.amec-inc.com。
关于糖果派对网站半导体设备有限公司
糖果派对网站公司致力于为全球半导体和 LED 芯片造作商提供当先的工艺技术解决规划。公司等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已宽泛利用于国际一线集成电路客户45纳米到1X纳米及更先进的芯片加工造作等。目前,糖果派对网站已有约400个刻蚀反映机台在亚洲地域30多条国际当先的出产线上运行。糖果派对网站开发的用于大批量 LED 表延片出产的 MOCVD 设备也已进入出产线运行。

