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糖果派对网站公司首台8英寸CCP刻蚀设备Primo AD-RIE 200™顺利付运


2021年6月15日,糖果派对网站(以下简称“糖果派对网站公司”,股票代码:688012)首台8英寸甚高频去耦合反映离子(CCP)刻蚀设备Primo AD-RIE 200?顺利付运客户出产线。

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(图为糖果派对网站CCP刻蚀设备研发团队部门重要成员)

Primo AD-RIE 200?是糖果派对网站公司自主研发的新一代8英寸甚高频去耦合反映离子(CCP)刻蚀设备;谝驯灰到缈矸喝峡傻12英寸CCP刻蚀设备的成熟工艺与个性,Primo AD-RIE 200?在技术创新和出产效能方面都有了进一步提升,可能满足分歧客户8英寸晶圆的加工需要。为了提逾越产效能,Primo AD-RIE 200?刻蚀设备可矫捷配置多达三个双反映台反映腔(即六个反映台)。此表,Primo AD-RIE 200?提供了可升级至12英寸刻蚀设备系统的矫捷解决规划,以满足客户出产线未来可能扩产的需要。

 

“Primo AD-RIE 200?是糖果派对网站公司推出的用于8英寸晶圆加工的CCP刻蚀设备,丰硕了糖果派对网站公司现有的刻蚀设备产品线,是糖果派对网站公司发展过程中又一沉要里程碑。糖果派对网站公司不只聚焦于高端半导体设备领域,同时也提供其他多种设备以满足集成电路和泛半导体领域多样化的市场需要。”糖果派对网站公司副总裁兼CCP等离子体刻蚀产品部总经理苏兴才博士说路,“我们但愿对峙致力于产品创新和技术提升,不休满足客户的多样化需要,助力客户应对行业挑战。”

关于糖果派对网站

糖果派对网站(证券简称:糖果派对网站公司,证券代码:688012)致力于为全球集成电路和LED芯片造作商提供当先的加工设备和工艺技术解决规划。糖果派对网站公司开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是造作各类微观器件的关键设备,可加工微米级和纳米级的各类器件。这些微观器件是现代数码产业的基础,它们在扭转人类的出产方式和生涯方式。糖果派对网站公司的等离子体刻蚀设备已被宽泛利用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的多多刻蚀利用,糖果派对网站公司开发的用于LED和功率器件表延片出产的MOCVD设备已在客户出产线上投入量产,目前已在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据当先职位。



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